切断	ワイヤソー切断機	F-600（３軸）	安永	8
		SW830DS（３軸）	安永	1
		MWM454B	コマツＮＴＣ	1
	コンタマシーン	TA500	アンドソー	1
	接着・剥離設備			1
	乾燥機			1
成型	ロータリー研削盤	SPG-600	三進精機	1
	ロータリー研削盤	NVG-600D	日進工機	1
	円筒研削盤	GOP32-50	ジェイテクト	1
ラップ	両面ラップ機	15B	不二越機械工業	8
		15B	スピードファム	4
		16B	浜井産業	1
		22B	不二越機械工業	1
		10.5B	スピードファム	1
	超音波洗浄機			4
	乾燥機			3
ポリッシュ	両面研磨機	15B	不二越機械工業	6
		16B	浜井産業	4
		22B	不二越機械工業	2
		10.5B	スピードファム	1
洗浄	5槽式洗浄機			1
	6槽式洗浄機			1
	7槽式洗浄機			1
	ブラシ洗浄機			2
	IPAベーパー乾燥機			3
検査	クリーンルーム	クラス10000		2
	クリーンベンチ	クラス100
	粗さ測定器	サーフテストSV401	ミツトヨ	1
		サーフコーダー	小坂研究所	1
	レーザー干渉計	F-601（解析付）	フジノン	1
		FlatMaster200	コーニングトロペル	1
	フラットネステスター	4" - 6"対応	サクラ	2
	測定顕微鏡	MM40-27	ニコン	1
	オートコリメーター	6D, 6B	ニコン	3
	真円度測定器	EC1020A	小坂研究所	1
	効力計	FSM-6000LE	ルケオ	1
化学強化	化学強化炉	ﾊﾞｹｯﾄ寸法250×400×300	３層構成	1式
廃水処理	凝集沈澱方式		永研工業	2